Ausstattung | Lehrstuhl für Oberflächen
· Technische Ausstattung des Lehrstuhls Materialentwicklung Electron-Cyclotron-Resonance (ECR) Mikrowellen-Plasma-CVD-Anlage ASTEX, Abscheidung von Schichtsystemen und Nanostrukturen 3 Mikrowellen-Plasma-CVD-Anlagen (1,5 kW, 3 kW, 5 kW